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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Simplified Analytical Damping Constant Model for Design of MEMS Capacitive Accelerometer with Gold Perforated Proof-mass Structure 
著者
和文: 柴田 滉平, 内山 晃宏, 大西 哲, 町田 克之, CHAKRABORTY P, 飯田 慎一, 小西 敏文, 曽根 正人, 三宅 美博, 伊藤 浩之.  
英文: Kohei Shibata, Akihiro Uchiyama, Akira Onishi, Katsuyuki Machida, Parthojit Chakraborty, Shin-ichi Iida, Toshifumi Konishi, Masato Sone, Yoshihiro Miyake, Hiroyuki Ito.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:IEEE Sensors Journal 
巻, 号, ページ Vol. 22    Issue 15   
出版年月 2022年6月24日 
出版者
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会議名称
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開催地
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公式リンク https://doi.org/10.1109/JSEN.2022.3184340
 
DOI https://doi.org/10.1109/JSEN.2022.3184340

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