Grain Size Enlargement in 2D WS2 Film with Low-Power RF-Magnetron Sputtering

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Grain Size Enlargement in 2D WS2 Film with Low-Power RF-Magnetron Sputtering

著者

和文:	濱田拓也, 堀口大河, 濱田昌也, 宗田伊理也, 角嶋邦之, 筒井一生, 辰巳哲也, 冨谷茂隆, 若林整.
英文:	Takuya Hamada, Taiga Horiguchi, Masaya Hamada, Iriya Muneta, Kuniyuki Kakushima, Kazuo Tsutsui, Tetsuya Tatsumi, Shigetaka Tomiya, Hitoshi Wakabayashi.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2021年9月7日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	Internatonal Conference on Solid State Devices and Materials

開催地

和文:
英文: