Thermal stability of ferroelectric AlScN films

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Thermal stability of ferroelectric AlScN films

著者

和文:	澁川涼太, TSAI Sung Lin, 星井拓也, H. Wakbayashi, 筒井一生, 角嶋邦之.
英文:	R. Shibukawa, S. -L. Tsai, T. Hoshii, H. Wakbayashi, K. Tsutsui, K. Kakushima.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2021年11月

出版者

和文:
英文:

会議名称

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英文:	International Workshop on Dierectric Thin Films for Futre Electron Devices -Science and Technology-

開催地

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