Dual-Layer Proton Irradiation for Creating Thermally-Stable High-Resistivity Region in Si CMOS Substrate

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Dual-Layer Proton Irradiation for Creating Thermally-Stable High-Resistivity Region in Si CMOS Substrate

著者

和文:	HERDIAN HANS, 井上剛, 平野拓一, Masatsugu Sogabe, 白根篤史, 岡田健一.
英文:	Hans Herdian, Takeshi Inoue, Takuichi Hirano, Masatsugu Sogabe, Atsushi Shirane, Kenichi Okada.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2021年9月14日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	IEEE European Solid-State Device Research Conference (ESSDERC)

開催地

和文:
英文:	Grenoble