N極性GaN HEMTのTMAHによる素子分離 | T2R2 東京工業大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	N極性GaN HEMTのTMAHによる素子分離
英文:

著者

和文:	新井貴大, 青田智也, 眞壁勇夫, 中田健, 後藤高寛, 宮本恭幸.
英文:	Takahiro Arai, Tomoya Aota, isao makabe, 中田健, Takahiro Gotow, YASUYUKI MIYAMOTO.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2022年3月

出版者

和文:
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会議名称

和文:	第69回応用物理学会春季学術講演会
英文:

開催地

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英文:

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