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論文・著書情報


タイトル
和文:N極性GaN HEMTのTMAHによる素子分離 
英文: 
著者
和文: 新井貴大, 青田智也, 眞壁勇夫, 中田健, 後藤高寛, 宮本恭幸.  
英文: Takahiro Arai, Tomoya Aota, isao makabe, 中田健, Takahiro Gotow, YASUYUKI MIYAMOTO.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2022年3月 
出版者
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会議名称
和文:第69回応用物理学会春季学術講演会 
英文: 
開催地
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