Rapid oriented crystallization of β-Ga<sub>2</sub>O<sub>3</sub> thin films on flexible polymer substrates by excimer laser annealing

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Rapid oriented crystallization of β-Ga₂O₃ thin films on flexible polymer substrates by excimer laser annealing

著者

和文:	甲斐稜也, 渡邉一樹, 金子健太, 大賀友瑛, 金子智, 吉本護, 松田晃史.
英文:	Ryoya Kai, Kazuki Watanabe, Kenta Kaneko, Tomoaki Oga, Satoru Kaneko, Mamoru Yoshimoto, Akifumi Matsuda.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2022年8月3日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	IUMRS-ICYRAM 2022

開催地

和文:	福岡県福岡市
英文:	Fukuoka

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