ワイドバンドギャップ結晶基板における内部応力と表面性状の制御に関する研究 | T2R2 東京科学大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	ワイドバンドギャップ結晶基板における内部応力と表面性状の制御に関する研究
英文:

著者

和文:	小山浩司.
英文:	Koji Koyama.

種別

種別:	学位論文(博士)
国名:	日本

言語

Japanese

学位授与組織

東京工業大学

報告番号

甲第12194号

学位授与日

2022/09/22

審査員

舟窪浩, 吉本護, 松田晃史, 片瀬貴義, 和田裕之.

ファイル

©2007 Institute of Science Tokyo All rights reserved.