大気圧プラズマCVDにおけるプラズマガス種の薄膜形成過程および膜特性に与える影響

論文・著書情報

タイトル

和文:	大気圧プラズマCVDにおけるプラズマガス種の薄膜形成過程および膜特性に与える影響
英文:	Effect of Plasma Gas Species on Thin Film Formation Process and Film Properties in Atmospheric Pressure Plasma CVD

著者

和文:	山崎顕一, 安井祐之, 末松妃菜子, 野口剛, 末永祐磨, 沖野晃俊.
英文:	Kenichi Yamazaki, Hiroyuki Yasui, Hinako Suematsu, Tsuyoshi Noguchi, Yuma Suenaga, AKITOSHI OKINO.

言語

Japanese

掲載誌/書名

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巻, 号, ページ

出版年月

2022年9月

出版者

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会議名称

和文:	第71回高分子討論会
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開催地

和文:	北海道札幌市
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