異種材料集積光回路に向けた大気圧プラズマによる半導体親水化の検討

論文・著書情報

タイトル

和文:	異種材料集積光回路に向けた大気圧プラズマによる半導体親水化の検討
英文:	Investigation of Semiconductor Hydrophilicity by Atomosphere Pressure Plasma toward Heterogeneous Material-integrated Photonic Circuits

著者

和文:	日原弘喜, MOATAZ Shaher Anis Mahmoud Eissa, 山口圭太, 小野寺広夢, 大磯義孝, 雨宮智宏, 沖野晃俊, 西山伸彦.
英文:	Koki Hihara, Moataz Eissa, Keita Yamaguchi, Hiromu Onodera, Yoshitaka Ohiso, Tomohiro Amemiya, AKITOSHI OKINO, Nobuhiko Nishiyama.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2022年9月21日

出版者

和文:
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会議名称

和文:	2022年第83回応用物理学会秋季学術講演会
英文:	The 83rd JSAP Autumn Meeting 2022

開催地

和文:	仙台
英文: