Data augmentation in extreme ultraviolet lithography simulation using convolutional neural network

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Data augmentation in extreme ultraviolet lithography simulation using convolutional neural network

著者

和文:	田邊容由, 高橋篤司.
英文:	Hiroyoshi Tanabe, Atsushi Takahashi.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Journal of Micro/Nanopatterning, Materials and Metrology (JM3)

巻, 号, ページ

Vol. 21 Issue 4 041602

出版年月

2022年10月14日

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

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DOI