Influence of sputtering power on the switching and reliability of ferroelectric Al0.7Sc0.3N films

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Influence of sputtering power on the switching and reliability of ferroelectric Al0.7Sc0.3N films

著者

和文:	澁川涼太, TSAISung Lin, 星井拓也, 若林整, 筒井一生, 角嶋邦之.
英文:	Ryota Shibukawa, Sung Lin Tsai, Takuya Hoshii, Hitoshi Wakabayashi, KAZUO TSUTSUI, Kuniyuki KAKUSHIMA.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Japanese Journal of Applied Physics

巻, 号, ページ

Volume 61

出版年月

2022年4月1日

出版者

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英文:

会議名称

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開催地

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英文: