Fabrication of Flexible Coil on PDMS for MEMS-based Electromagnetic Membrane Actuator

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Fabrication of Flexible Coil on PDMS for MEMS-based Electromagnetic Membrane Actuator

著者

和文:	QI Chao, Atsushi Nakazato, 杉田直広, 進士忠彦.
英文:	Chao Qi, Atsushi Nakazato, Naohiro Sugita, Tadahiko Shinshi.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proc. of the 9th Intl. Conf. of Asian Society for Precision Engg. and Nanotechnology (ASPEN 2022)

巻, 号, ページ

pp. 571-572

出版年月

2022年11月15日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	The 9th International Conference of ASPEN（ASPEN 2022）

開催地

和文:
英文:	Singapore

DOI