Study of InP/Si Hybrid Lasers with High-quality Si waveguide Fabrication by Electron Beam Lithography

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Study of InP/Si Hybrid Lasers with High-quality Si waveguide Fabrication by Electron Beam Lithography

著者

和文:	MOATAZ Shaher Anis Mahmoud Eissa.
英文:	Shaher Anis Mahmoud Eissa Moataz.

種別

種別:	学位論文(博士)
国名:	Japan

言語

English

学位授与組織

Tokyo Institute of Technology

報告番号

学位授与日

審査員