Si/SiON/SiO2 ダブルクラッド型スポットサイズコンバータの SiON 屈折率変化における結合効率の向上の検討

論文・著書情報

タイトル

和文:	Si/SiON/SiO2 ダブルクラッド型スポットサイズコンバータの SiON 屈折率変化における結合効率の向上の検討
英文:	Investigation of the Improvement of Coupling Efficiency of Si/SiON/SiO2 Double Clad Spot Size Converter by Changing SiON Refractive Index

著者

和文:	山口圭太, MOATAZShaher Anis Mahmoud Eissa, WANGYuduan, 大磯義孝, 雨宮智宏, 西山伸彦.
英文:	Keita Yamaguchi, Shaher Anis Mahmoud Eissa Moataz, Yuduan Wang, Yoshitaka Ohiso, Tomohiro Amemiya, Nobuhiko Nishiyama.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
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巻, 号, ページ

出版年月

2022年7月14日

出版者

和文:
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会議名称

和文:	第３回光集積及びシリコンフォトニクス(PICS)研究会
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開催地

和文:	浜松
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