スパッタリング法によるアモルファス酸化ガリウム薄膜の作製とダイオー ド特性の評価

論文・著書情報

タイトル

和文:	スパッタリング法によるアモルファス酸化ガリウム薄膜の作製とダイオード特性の評価
英文:

著者

和文:	嵯峨野太一, 井手啓介, 片瀬貴義, 平松秀典, 細野秀雄, 神谷利夫.
英文:	Taichi Sagano, Keisuke Ide, Takayoshi Katase, hidenori hiramatsu, HIDEO HOSONO, TOSHIO KAMIYA.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2022年11月17日

出版者

和文:
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会議名称

和文:	薄膜材料デバイス研究会第19回研究集会「新半導体材料・デバイス：SDGs実現へ向けて」
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開催地

和文:	京都
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