超高真空スパッタリング装置を用いた高移動度多結晶 Zn3N2 薄膜

論文・著書情報

タイトル

和文:	超高真空スパッタリング装置を用いた高移動度多結晶 Zn3N2 薄膜
英文:

著者

和文:	清水篤, 井手啓介, 片瀬貴義, 平松秀典, 細野秀雄, 神谷利夫.
英文:	Atsushi Shimizu, Keisuke Ide, Takayoshi Katase, hidenori hiramatsu, HIDEO HOSONO, TOSHIO KAMIYA.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2022年11月17日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	薄膜材料デバイス研究会第19回研究集会「新半導体材料・デバイス：SDGs実現へ向けて」
英文:

開催地

和文:	京都
英文: