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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:1T1C FeRAM memory array with Hf0.5Zr0.5O2-based ferroelectric film 
著者
和文: 奥野潤.  
英文: Jun Okuno.  
種別
種別:学位論文(博士) 
国名:Japan 
言語 English 
学位授与組織 Tokyo Institute of Technology 
報告番号 甲第12384号 
学位授与日 2023/03/26 
審査員  
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