希土類酸化物層を利用した強誘電体酸化ハフニウムの信頼性改善に関する研究 | T2R2 東京科学大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	希土類酸化物層を利用した強誘電体酸化ハフニウムの信頼性改善に関する研究
英文:	A study on reliability improvements in ferroelectric HfO2 by rare-earth oxides lamination and capping

著者

和文:	水谷一翔.
英文:	Kazuto Mizutani.

種別

種別:	学位論文(博士)論文要旨
国名:	日本

言語

Japanese

学位授与組織

東京工業大学

報告番号

学位授与日

審査員

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