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論文・著書情報


タイトル
和文:大面積薄膜の安定した曲面貼付に向けた弾性梁配列を有する双極型静電吸着デバイスの設計と条件評価 
英文: 
著者
和文: 吉田周平, 田岡祐樹, 齋藤滋規.  
英文: Shuhei Yoshida, Yuki Taoka, Shigeki SAITO.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
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巻, 号, ページ        
出版年月 2023年3月 
出版者
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会議名称
和文:2023年度精密工学会春季大会学術講演会 
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開催地
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