Influence of heatinduced changeable stiffness a t the contact interface o n the gripping force of a bipolar electrostatic chuck

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Influence of heatinduced changeable stiffness a t the contact interface o n the gripping force of a bipolar electrostatic chuck

著者

和文:	Jeremy Gavriel, 田岡祐樹, 齋藤滋規.
英文:	Jeremy Gavriel, Yuki Taoka, shigeki saito.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2023年3月

出版者

和文:
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会議名称

和文:	2023年度精密工学会春季大会学術講演会
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開催地

和文:
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