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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Influence of the surface conductivity of a polymer film on the attractive force of a bipolar electrostatic chuck 
著者
和文: Jeremy Gavriel, 田岡 祐樹, 齋藤 滋規.  
英文: Jeremy Gavriel, Yuki Taoka, shigeki saito.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2022年5月 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文: 
英文:MRS 2022 Spring 
開催地
和文: 
英文:Hawaii 

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