発光分光診断による CF B−X 遷移の振動温度の推定

小林 明; 山下 雄也; 砂川 晃伯; 米田 和真; 清田 哲司; 土居 謙太; 根津 篤; 赤塚 洋

論文・著書情報

タイトル

和文:	発光分光診断による CF B−X 遷移の振動温度の推定
英文:	Estimation of Vibrational Temperature of CF B-X System by Optical Emission Spectroscopic Diagnostics

著者

和文:	小林明, 山下雄也, 砂川晃伯, 米田和真, 清田哲司, 土居謙太, 根津篤, 赤塚洋.
英文:	Akira Kobayashi, Yuya Yamashita, Kohaku Sunakawa, Kazuma Yoneda, Tetsuji Kiyota, Kenta Doi, Atsushi Nezu, Hiroshi Akatsuka.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	2023年第70回応用物理学会春季学術講演会講演予稿集
英文:	Extended abstracts of the 70th JSAP Spring Meeting 2023

巻, 号, ページ

07-002

出版年月

2023年

出版者

和文:	公益社団法人応用物理学会
英文:	The Japan Society of Applied Physcs

会議名称

和文:	2023年第70回応用物理学会春季学術講演会
英文:	The 70th JSAP Spring Meeting 2023

開催地

和文:	東京
英文:	Tokyo

公式リンク

https://confit.atlas.jp/guide/event/jsap2023s/subject/15p-B309-2/tables?cryptoId=

アブストラクト

エッチングに多用される CF4/O2 プラズマにおいて，処理条件の効率的な設計に資するために，プラズマのマクロパラメータと，装置パラメータの相関を得ることが求められている．本研究では，発光分光計測により得られた発光スペクトルに対してボルツマン分布を仮定し計算した CF B−X 遷移の理論スペクトルをフィッティングすることで，振動温度 Tv を推定した．

【重要】T2R2・STARSearchの停止と後継システムについて

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