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論文・著書情報


タイトル
和文:トモグラフィック発光分光計測によるアルゴン誘導結合プラズマの電子温度・電子密度の空間分布診断 
英文:Diagnosis of Spatial Distribution of Electron Temperature and Electron Density of Argon Inductively Coupled Plasma by Tomographic Optical Emission Spectroscopic Measurement 
著者
和文: 山下 雄也, 土居 謙太, 清田 哲司, 浅川 慶一郎, 細谷 宗太郎, 菊地 航行, 根津 篤, 赤塚 洋.  
英文: Yuya Yamashita, Kenta Doi, Tetsuji Kiyota, Keiichiro Asakawa, Sotaro Hosoya, Wataru Kikuchi, Atsushi Nezu, Hiroshi Akatsuka.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:2023年第70回応用物理学会春季学術講演会 講演予稿集 
英文:Extended abstracts of the 70th JSAP Spring Meeting 2023 
巻, 号, ページ         07-007
出版年月 2023年2月27日 
出版者
和文:公益社団法人 応用物理学会 
英文:The Japan Society of Applied Physcs 
会議名称
和文:2023年第70回応用物理学会春季学術講演会 
英文:The 70th JSAP Spring Meeting 2023 
開催地
和文:東京 
英文:Tokyo 
公式リンク https://confit.atlas.jp/guide/event/jsap2023s/subject/15p-B309-6/tables?cryptoId=
 
アブストラクト 近年、トモグラフィを用いた診断が報告されつつある。しかし、原子分子過程を詳細に考慮した報告がなく、解析に起因する不確かさが著しいことが課題であった。本研究では、アルゴン誘導結合プラズマを対象にトモグラフィック発光分光計測を実施した。原子分子過程を詳細に記述できる原子分子過程モデルである、衝突輻射モデルに基づいて解析した。これにより、電子温度・電子密度の空間分布診断を定量的に実現した。
受賞情報 注目講演

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