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論文・著書情報


タイトル
和文:スパッタリング法によるMg2Si基薄膜の作製とその熱電特性評価に関する研究 
英文: 
著者
和文: 片桐淳生.  
英文: Atsuo Katagiri.  
種別
種別:学位論文(博士)要約 
国名:日本 
言語 Japanese 
学位授与組織 東京工業大学 
報告番号 甲第11956号 
学位授与日 2021/03/26 
審査員 舟窪 浩, 吉本 護, 木村 好里, 片瀬 貴義, 松田 晃史.  
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