Surface Treatment of Polyimide using Solid-source H2O Plasma for Fabrication of Ge Electrode

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Surface Treatment of Polyimide using Solid-source H2O Plasma for Fabrication of Ge Electrode

著者

和文:	遠西美重, 佐藤美那, 松谷晃宏, 生方俊, 松下祥子.
英文:	Mie Tohnishi, Mina Sato, Akihiro Matsutani, Takashi Ubukata, Sachiko Matsushita.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Sensors and Materials

巻, 号, ページ

Vol. 35 No. 3 pp. 1023-1033

出版年月

2023年3月

出版者

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会議名称

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開催地

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