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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:[17a-PA05-5] Optimization of 2-step deposition process of i-a-Si:H passivation layer deposited by facing target sputtering 
著者
和文: LI SHASHA, 宮島 晋介.  
英文: ShaSha Li, Shinsuke Miyajima.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2023年3月17日 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:第70回 応用物理学会春季学術講演会 
英文:The 70th JSAP Spring Meeting 2023 
開催地
和文:東京 
英文:Tokyo 

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