Characterization of tunnel oxide passivated contact fabricated by sputtering and ion implantation technique

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Characterization of tunnel oxide passivated contact fabricated by sputtering and ion implantation technique

著者

和文:	山口昇, LI SHASHA, 宮島晋介.
英文:	Noboru Yamaguchi, Shasha Li, Shinsuke Miyajima.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Japanese Journal of Applied Physics

巻, 号, ページ

62 SK1024

出版年月

2023年4月27日

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
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DOI