Enhancement of crystal anisotropy and ferroelectricity by decreasing thickness in (Al,Sc)N films

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Enhancement of crystal anisotropy and ferroelectricity by decreasing thickness in (Al,Sc)N films

著者

和文:	安岡慎之介, 水谷涼一, 大田怜佳, 白石貴久, 清水荘雄, 安井伸太郎, 江原祥隆, 西田謙, Masato UEHARA, Hiroshi YAMADA, Morito AKIYAMA, Yasuhiko IMAI, 坂田修身, 舟窪浩.
英文:	Shinnosuke YASUOKA, Ryoichi MIZUTANI, Reika OTA, Takahisa SHIRAISHI, Takao SHIMIZU, Shintaro YASUI, Yoshitaka EHARA, Ken NISHIDA, Masato UEHARA, Hiroshi YAMADA, Morito AKIYAMA, Yasuhiko IMAI, Osami SAKATA, Hiroshi FUNAKUBO.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	J. Ceram. Soc. Jpn.

巻, 号, ページ

Vol. 130 No. 7 pp. 436-441

出版年月

2022年7月1日

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
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