Determination of the electron temperature and density of non-equilibrium atmospheric-pressure Ar plasma by OES using two-tempareture EEDF

Jun Enomoto; Wataru Kikuchi; Kouhei Yamashita; Atsushi Nezu; Hiroshi Akatsuka

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Determination of the electron temperature and density of non-equilibrium atmospheric-pressure Ar plasma by OES using two-tempareture EEDF

著者

和文:	榎本純, 菊地航行, 山下航平, 根津篤, 赤塚洋.
英文:	Jun Enomoto, Wataru Kikuchi, Kouhei Yamashita, Atsushi Nezu, Hiroshi Akatsuka.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proceedings of 25th International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC25)

巻, 号, ページ

出版年月

2023年5月21日

出版者

和文:
英文:	International Organizing Committee of ISPC25

会議名称

和文:
英文:	25th International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC25)

開催地

和文:	京都
英文:	Kyoto

公式リンク

https://www.ispc25.com/index.html

アブストラクト

A two-temperature electron energy distribution function (EEDF) is proposed for the non-equilibrium argon atmospheric-pressure plasma. Its continuum emission spectrum, dominated by electron-neutral bremsstrahlung radiation, is analyzed to determine the electron temperature (T_e) and density (N_e) by optical emission spectroscopic (OES) measurement. It was found that T_e ~ 0.4 eV and N_e ~ 3.3 x 10^{15} cm^{-3} with a discharge voltage of 5.4 kV. The two-temperature EEDF provided a better fit than the one-temperature EEDF.

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