Effect of ozone and humidity addition on hydrogen peroxide generation characteristics of plasmas in oxygen bubbles

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Effect of ozone and humidity addition on hydrogen peroxide generation characteristics of plasmas in oxygen bubbles

著者

和文:	風間亮汰, 渡辺泰一, 全俊豪, 竹内希.
英文:	Ryota Kazama, Taichi Watanabe, Shungo Zen, Nozomi Takeuchi.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Journal of Vacuum Science & Technology A

巻, 号, ページ

vol. 40 no. 6

出版年月

2022年11月

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

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DOI