Chemical states of PVD-ZrS2 film underneath scaled high-k film with self-oxidized ZrO2 film as interfacial layer

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Chemical states of PVD-ZrS2 film underneath scaled high-k film with self-oxidized ZrO2 film as interfacial layer

著者

和文:	大友将樹, 濱田昌也, 小野凌, 宗田伊理也, 角嶋邦之, 筒井一生, 若林整.
英文:	Masaki Otomo, Masaya Hamada, Ryo Ono, Iriya Muneta, Kuniyuki Kakushima, Kazuo Tsutsui, Hitoshi Wakabayashi.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Japanese Journal of Applied Physics

巻, 号, ページ

Vol. 62 p. SC1015

出版年月

2023年1月9日

出版者

和文:
英文:	IOP Publishing

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文:

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DOI