アルミニウムスカンジウム合金(AlSc)と酸化タングステン(WOx)をソース/ドレイン電極に用いたWSe2 n/p FETとCMOSインバータ応用

論文・著書情報

タイトル

和文:	アルミニウムスカンジウム合金(AlSc)と酸化タングステン(WOx)をソース/ドレイン電極に用いたWSe2 n/p FETとCMOSインバータ応用
英文:

著者

和文:	川那子高暢, 梶川亮介, 水谷一翔, Tsai Sung Lin, 宗田伊理也, 星井拓也, 角嶋邦之, 筒井一生, 若林整.
英文:	Takamasa Kawanago, Ryosuke Kajikawa, Kazuto Mizutani, Sung Lin Tsai, Iriya Muneta, Takuya Hoshii, Kuniyuki KAKUSHIMA, KAZUO TSUTSUI, Hitoshi Wakabayashi.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2022年9月22日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	第83回応用物理学会秋季学術講演会
英文:	83th JSAP Autumn meeting

開催地

和文:	仙台市
英文: