Self-heating and Short-Channel Effect Immunity with Partial-Bottom-Dielectric-Isolation for Gate-All-Around Nano-Sheet FETs

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Self-heating and Short-Channel Effect Immunity with Partial-Bottom-Dielectric-Isolation for Gate-All-Around Nano-Sheet FETs

著者

和文:	WANG PEILONG, 堀敦, 宗田伊理也, 川那子高暢, 角嶋邦之, 筒井一生, 若林整.
英文:	Peilong Wang, Atsushi Hori, Iriya Muneta, Takamasa Kawanago, Kuniyuki Kakushima, Kazuo Tsutsui, Hitoshi Wakabayashi.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2023年3月17日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	第70回応用物理学会春季学術講演会
英文:	70th JSAP Spring meeting

開催地

和文:	東京
英文:	Tokyo