AD法で作製したオキシフッ化イットリウムコーティングの耐プラズマ性評価

論文・著書情報

タイトル

和文:	AD法で作製したオキシフッ化イットリウムコーティングの耐プラズマ性評価
英文:	Plasma-Resistance Evaluation of Yttrium Oxyfluoride Coating Prepared by Aerosol Deposition Method

著者

和文:	芦澤宏明, 吉田克己.
英文:	Hiroaki Ashizawa, Katsumi Yoshida.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2022年9月14日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	日本セラミックス協会第35回秋季シンポジウム
英文:	The 35th Fall Meeting of The Ceramic Society of Japan

開催地

和文:	徳島およびオンライン
英文:	Tokushima and online