メモリ応用に向けた(Al, Sc)N膜の薄膜化の検討

論文・著書情報

タイトル

和文:	メモリ応用に向けた(Al, Sc)N膜の薄膜化の検討
英文:

著者

和文:	安岡慎之介, 大田怜佳, 岡本一輝, 石濱圭佑, 清水荘雄, 角嶋邦之, 上原雅人, 山田浩志, 秋山守人, 小金澤智之, L. S. R. Kumara, Okkyun Seo, 坂田修身, 舟窪浩.
英文:	Shinnosuke Yasuoka, Reika Ota, Kazuki Okamoto, Keisuke Ishihama, Shimizu Takao, Kuniyuki KAKUSHIMA, 上原雅人, 山田浩志, 秋山守人, 小金澤智之, L. S. R. Kumara, Okkyun Seo, O. Sakata, HIROSHI FUNAKUBO.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2022年9月20日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	第83回応用物理学会秋季学術講演会
英文:

開催地

和文:	仙台
英文: