水素ガス熱処理が(Al,Sc)N 薄膜の強誘電特性へ及ぼす影響 | T2R2 東京工業大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	水素ガス熱処理が(Al,Sc)N 薄膜の強誘電特性へ及ぼす影響
英文:

著者

和文:	岡本一輝, 安岡慎之介, 大田怜佳, 舟窪浩, 松井尚子, 入澤寿和, 恒川孝二.
英文:	Kazuki Okamoto, Shinnosuke Yasuoka, Reika Ota, HIROSHI FUNAKUBO, 松井尚子, 入澤寿和, 恒川孝二.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2022年9月20日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	第83回応用物理学会秋季学術講演会
英文:

開催地

和文:	仙台
英文:

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