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論文・著書情報


タイトル
和文:NbN電極上に作製したエピタキシャル(Al, Sc)N膜の電気特性評価 
英文: 
著者
和文: 安岡慎之介, 大田怜佳, 岡本一輝, 清水荘雄, 舟窪浩.  
英文: Shinnosuke Yasuoka, Reika Ota, Kazuki Okamoto, Shimizu Takao, HIROSHI FUNAKUBO.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2023年3月15日 
出版者
和文: 
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会議名称
和文:第70回応用物理学会春季学術講演会 
英文: 
開催地
和文:東京 
英文: 

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