Thickness Scaling and Low Voltage Operation of Ferroelectric (Al1-xScx)N Films Prepared by Sputtering Method

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Thickness Scaling and Low Voltage Operation of Ferroelectric (Al1-xScx)N Films Prepared by Sputtering Method

著者

和文:	舟窪浩, 安岡慎之介, 水谷涼一, 白石貴久, 舘山明紀, 大田怜佳, 岡本一輝, 清水荘雄, Masato Uehara, Hiroshi Yamada, Morito Akiyama.
英文:	Hiroshi Funakubo, Shinnosuke Yasuoka, Ryoichi Mizutani, Takahisa Shiraishi, Akinori Tateyama, Reika Ota, Kazuki Okamoto, Takao Shimizu, Masato Uehara, Hiroshi Yamada, Morito Akiyama.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2022年11月27日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	2022 MRS Fall Meeting & Exhibit

開催地

和文:
英文:	Boston, MA