Establishment of Control Method for Ferroelectric Properties in (Al1-xScx)N Films

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Establishment of Control Method for Ferroelectric Properties in (Al1-xScx)N Films

著者

和文:	安岡慎之介, 水谷涼一, 大田怜佳, 白石貴久, 清水荘雄, Masato Uehara, Hiroshi Yamada, Morito Akiyama, 舟窪浩.
英文:	Shinnosuke Yasuoka, Ryoichi Mizutani, Reika Ota, Takahisa Shiraishi, Takao Shimizu, Masato Uehara, Hiroshi Yamada, Morito Akiyama, Hiroshi Funakubo.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2022年5月23日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	2022 MRS Spring Meeting & Exhibit

開催地

和文:
英文:	Honolulu, Hawai’i