導波路加工偏差モニタリングによる方向性結合器の分岐比ばらつき解析

論文・著書情報

タイトル

和文:	導波路加工偏差モニタリングによる方向性結合器の分岐比ばらつき解析
英文:	Variation Analysis for Splitting Ratio of Directional Coupler Based on Waveguide Process Monitoring

著者

和文:	堀川剛, 西山伸彦.
英文:	Tsuyoshi Horikawa, Nobuhiko Nishiyama.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	2023年第70回応用物理学会春季学術講演会予稿集
英文:	Proceedings of The 70th JASP Spring Meeting 2023

巻, 号, ページ

16a-A409-7

出版年月

2023年3月15日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	2023年第70回応用物理学会春季学術講演会
英文:	The 70th JASP Spring Meeting 2023

開催地

和文:	東京
英文:	Tokyo