OFDR法を用いたウェーハレベル光集積デバイス特性検査 ‐細線導波路伝搬損失の高精度評価

論文・著書情報

タイトル

和文:	OFDR法を用いたウェーハレベル光集積デバイス特性検査 ‐細線導波路伝搬損失の高精度評価
英文:	Wafer-level characterization of integrated optical devices using OFDR - Highly reproducible extraction of propagation loss in wire-waveguides -

著者

和文:	堀川剛, 北村敦, 八谷将典, 西山伸彦.
英文:	Tsuyoshi Horikawa, Atsushi Kitamura, Masanori Yatani, Nobuhiko Nishiyama.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	第84回応用物理学会秋季学術講演会
英文:	Proceedings of the 84th JASP Autumn Meeting 2023

巻, 号, ページ

20a-A201-7

出版年月

2023年9月19日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	第84回応用物理学会秋季学術講演会
英文:	The 84th JASP Autumn Meeting 2023

開催地

和文:	熊本
英文:	Kumamoto