種々の組成の(Al, Sc)N多層膜のスイッチング特性評価 | T2R2 東京科学大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	種々の組成の(Al, Sc)N多層膜のスイッチング特性評価
英文:

著者

和文:	安岡慎之介, 岡本一輝, 清水荘雄, 松井尚子, 入澤寿和, 恒川孝二, 舟窪浩.
英文:	Shinnosuke Yasuoka, Kazuki Okamoto, Shimizu Takao, 松井尚子, 入澤寿和, 恒川孝二, HIROSHI FUNAKUBO.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2023年9月19日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	第84回応用物理学会秋季学術講演会
英文:

開催地

和文:	熊本
英文:

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