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論文・著書情報


タイトル
和文:種々の組成の(Al, Sc)N多層膜のスイッチング特性評価 
英文: 
著者
和文: 安岡 慎之介, 岡本 一輝, 清水 荘雄, 松井 尚子, 入澤 寿和, 恒川 孝二, 舟窪 浩.  
英文: Shinnosuke Yasuoka, Kazuki Okamoto, Shimizu Takao, 松井 尚子, 入澤 寿和, 恒川 孝二, HIROSHI FUNAKUBO.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2023年9月19日 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:第84回応用物理学会秋季学術講演会 
英文: 
開催地
和文:熊本 
英文: 

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