振幅成分を利用した補正による忠実度の高いマスクパターン生成手法

論文・著書情報

タイトル

和文:	振幅成分を利用した補正による忠実度の高いマスクパターン生成手法
英文:	High fidelity mask pattern generation method by amplitude component evaluation

著者

和文:	堀本遊, 齊藤颯太, 高橋篤司, 小平行秀, 児玉親亮.
英文:	Yu Horimoto, Sota Saito, Atsushi Takahashi, Yukihide Kohira, Chikaaki Kodama.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	電子情報通信学会技術研究報告 (VLD2022-79)
英文:	IEICE Technical Report (VLD2022-79)

巻, 号, ページ

Vol. 122 No. 402 pp. 37-42

出版年月

2023年3月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	VLSI設計技術研究会
英文:	Technical Committee on VLSI Design Technologies

開催地

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