Migration制御したスパッタリング法による2次元層状MoS2成膜

論文・著書情報

タイトル

和文:	Migration制御したスパッタリング法による2次元層状MoS2成膜
英文:

著者

和文:	大橋匠, 坂本拓朗, 松浦賢太朗, 清水淳一, 外山真矢人, 石原聖也, 日比野祐介, 宗田伊理也, 角嶋邦之, 筒井一生, 小椋厚志, 若林整.
英文:	Takumi Ohashi, Takuro Sakamoto, Kentaro Matsuura, Junnichi Shimizu, Mayato Toyama, 石原聖也, 日比野祐介, Iriya Muneta, Kuniyuki KAKUSHIMA, KAZUO TSUTSUI, Atsushi Ogura, Hitoshi Wakabayashi.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2018年3月20日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	第65回応用物理学会春季学術講演会
英文:	65th JSAP Spring meeting

開催地

和文:	東京
英文:	Tokyo