Tomographic Diagnosis of Plasma Parameters of ICP Discharge by Optical Emission Spectroscopy Measurement Assisted with Collisional-radiative Model

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Tomographic Diagnosis of Plasma Parameters of ICP Discharge by Optical Emission Spectroscopy Measurement Assisted with Collisional-radiative Model

著者

和文:	赤塚洋.
英文:	Hiroshi Akatsuka.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	E-Abstract book of AEPSE 2023

巻, 号, ページ

p. 17

出版年月

2023年11月5日

出版者

和文:
英文:	International Program Committee of AEPSE2023

会議名称

和文:
英文:	The 13th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering (AEPSE 2023)

開催地

和文:	釜山
英文:	Busan

公式リンク