Ti/Au 積層構造有するマイクロカンチレバーの 構造安定性に対する熱処理の影響評価

論文・著書情報

タイトル

和文:	Ti/Au 積層構造有するマイクロカンチレバーの構造安定性に対する熱処理の影響評価
英文:	Evaluation of Relationship between Heat Treatment Temperature and Structural Stability of Micro-cantilevers Possessing Ti/Au Multi-layered Structures

著者

和文:	宮井良介, 栗岡智行, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, 町田克之, 伊藤浩之, 三宅美博, 曽根正人.
英文:	Ryosuke Miyai, Tomoyuki Kurioka, Chun Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Katsuyuki Machida, Hiroyuki Ito, Yoshihiro Miyake, Masato Sone.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proc. The 71st JSAP Spring MeetinProc.

巻, 号, ページ

p. 23a-12K-1

出版年月

2024年3月22日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	第71回応用物理学会春季学術講演会
英文:	The 71st JSAP Spring Meeting 2024

開催地

和文:
英文: