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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Warpage Study of the Electrodeposited-Au Micro-Components Having the Ti/Au Multi-layered Structures toward MEMS Applications 
著者
和文: 大村 太郎, 栗岡 智行, 陳 君怡, Chang Tso-Fu Mark, 大西 哲, CHAKRABORTY P, 町田 克之, 伊藤 浩之, 三宅 美博, 曽根 正人.  
英文: Taro Omura, Tomoyuki Kurioka, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Akira Onishi, Parthojit Chakraborty, Katsuyuki Machida, Hiroyuki ; Ito, Yoshihiro Miyake, Masato Sone.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Journal of The Electrochemical Society 
巻, 号, ページ Vol. 171        p. 032501
出版年月 2024年2月15日 
出版者
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会議名称
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開催地
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公式リンク https://iopscience.iop.org/article/10.1149/1945-7111/ad2ba9
 
DOI https://doi.org/10.1149/1945-7111/ad2ba9

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