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論文・著書情報


タイトル
和文:スパッタリング法で作製したウルツ鉱構造 (Al,Sc)N 薄膜の結晶構造と強誘電性に関する研究 
英文:Study on crystal structure and ferroelectricity in wurtzite (Al,Sc)N thin films deposited by sputtering method 
著者
和文: 安岡慎之介.  
英文: Shinnosuke Yasuoka.  
種別
種別:学位論文(博士) 
国名:Japan 
言語 English 
学位授与組織 Tokyo Institute of Technology 
報告番号  
学位授与日  
審査員  

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