Plasma immersion ion implantation for tunnel oxide passivated contact in silicon solar cell

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Plasma immersion ion implantation for tunnel oxide passivated contact in silicon solar cell

著者

和文:	山口昇, Ralph Müller, Christian Reichel b, Jan Benick, 宮島晋介.
英文:	Noboru Yamaguchi, Ralph Müller, Christian Reichel b, Jan Benick, Shinsuke Miyajima.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Solar Energy Materials and Solar Cells

巻, 号, ページ

Volume 268 112730

出版年月

2024年2月10日

出版者

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会議名称

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開催地

和文:
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