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論文・著書情報


タイトル
和文:柔軟薄膜の複曲面貼り付けを目指したオーセティックパターンを有する双極型静電吸着デバイスの開発 
英文: 
著者
和文: 吉本純平, 田岡祐樹, 齋藤滋規.  
英文: Jumpei Yoshimoto, Yuki Taoka, Shigeki SAITO.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
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巻, 号, ページ        
出版年月 2024年3月 
出版者
和文: 
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会議名称
和文:2024年度精密工学会春季大会学術講演会 
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開催地
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